"헉! 1000배 이상 높네~" 한, 세계최초 개발~ 전세계 기절초풍
한국기계연구원(KIMM), 성균관대 공동연구팀은 ‘플라즈마 기반 반응성 이온 식각(RIE) 장비를 이용해 차세대 반도체 이황화 몰리브덴(MoS₂)의 4인치 대면적 원자층 식각 기술 개발에 성공했다고 밝혔습니다 #국내연구진 #2차원반도체 #반도체공정 #원자층 #실리콘반도체 #미세공정 #반도체칩 #해외반응
한국기계연구원(KIMM), 성균관대 공동연구팀은 ‘플라즈마 기반 반응성 이온 식각(RIE) 장비를 이용해 차세대 반도체 이황화 몰리브덴(MoS₂)의 4인치 대면적 원자층 식각 기술 개발에 성공했다고 밝혔습니다 #국내연구진 #2차원반도체 #반도체공정 #원자층 #실리콘반도체 #미세공정 #반도체칩 #해외반응