CMP Pressure Mapping CMP - 장비 평탄도 측정 #Shorts

-. 산업: 반도체 제조 -. 공정: 전공정 (프론트엔드 공정) -. 설명: CMP 공정은 nm 수준의 반도체 생산에 있어 매우 중요한 공정입니다. CMP 헤드의 접촉 평탄도가 불량한 경우 크나큰 손실을 볼 수 있습니다. 카이트로닉스의 압력센서를 이용해 CMP 헤드 접촉 평탄도를 실시간으로 파악하여 제품 생산에 대한 개선을 할 수 있습니다. -. 테스트 센서: MS9705, MS9726 → 단종. SFC3400CX, SFC4300CX 권장 -. 테스트 컨트롤러: MC1509 → 단종. 바이칼 II 권장 -. Industry: Semiconductor manufacturing -. Process: Frontend process -. Description: Kitronyx pressure mapping sensors have been applied to monitor uniformity of pressure applied by CMP head to improve the manufacturing performance of high precision semiconductor devices. -. Test sensors: MS9705, MS9727 → Discontinued. SFC3400CX and SFC4300CX are recommended. -. Test data acquisition devices: MC1509 → Discontinued. Baikal II is recommended. https://www.kitronyx.com https://www.kitronyx.co.kr