EUV 펠리클 악재를 보았다?
#euv펠리클 #에프에스티 #에스앤에스텍 대한민국 공개특허공보 10-2023-0128491 ASML의 EUV 노광기 내 오염물질을 제거하는 새로운 기술 EUV 펠리클을 대체하는 신기술이 될 수 있을까요? 아니면 공존하게 될까요? 여러분의 의견을 알려주세요
#euv펠리클 #에프에스티 #에스앤에스텍 대한민국 공개특허공보 10-2023-0128491 ASML의 EUV 노광기 내 오염물질을 제거하는 새로운 기술 EUV 펠리클을 대체하는 신기술이 될 수 있을까요? 아니면 공존하게 될까요? 여러분의 의견을 알려주세요