국내업체 투과율 90% EUV 펠리클 개발

국내업체가 투과율 90%의 펠리클을 개발하였습니다. 이를 통해 삼성전자는 수율을 끌어올릴 수 있는 기회를 잡았다는 분석까지 나오고 있다.