![[핫클립] 배관을 막는 유해가스를 처리하는 진공 플라스마 / YTN 사이언스](https://krtube.net/image/nd18KQHVLKc.webp)
[핫클립] 배관을 막는 유해가스를 처리하는 진공 플라스마 / YTN 사이언스
반도체 공정에서 나오는 유해가스가 진공펌프나 배관을 막는다 그래서 막힌 배관 때문에 공정이 멈추는 경우도 잦고, 청소를 위해 배관을 열 때 화재가 생기는 일도 있었다고 한다 그러나 송영훈 박사의 플라스마 기술로 더 이상 배관이 막히지 않는다 ======================================== ※ Full 영상 ▶ ※ YTN사이언스 구독하기 ▶ ======================================== #플라스마 #반도체공정 #유해가스 #배관 #YTN사이언스 배관을 막는 유해가스를 처리하는 진공 플라스마 / YTN 사이언스 [YTN 사이언스 기사원문] [프로그램 제작 문의] legbiz@ytn co kr
