22년2월 EUV 펠리클 특허 동향 알려드립니다.(에스앤에스텍, 에프에스티, 변리사의 최신특허 소개)

22년2월 EUV 펠리클 특허 동향 알려드립니다.(에스앤에스텍, 에프에스티, 변리사의 최신특허 소개)

안녕하세요, 최신특허TV 김종승 변리사입니다 22년 2월 EUV 펠리클 특허 동향 알려드립니다 0:00 인트로 01:44 에프에스티 에스앤에스텍의 기술 개발 방향 02:54 EUV 펠리클이 갖추어야 할 특징 05:31 에스앤에스텍의 2, 3세대 펠리클 관련 특허 10:05 에프에스티의 삼성전자 공동특허 13:00 결론