22년2월 EUV 펠리클 특허 동향 알려드립니다.(에스앤에스텍, 에프에스티, 변리사의 최신특허 소개)
안녕하세요, 최신특허TV 김종승 변리사입니다 22년 2월 EUV 펠리클 특허 동향 알려드립니다 0:00 인트로 01:44 에프에스티 에스앤에스텍의 기술 개발 방향 02:54 EUV 펠리클이 갖추어야 할 특징 05:31 에스앤에스텍의 2, 3세대 펠리클 관련 특허 10:05 에프에스티의 삼성전자 공동특허 13:00 결론
안녕하세요, 최신특허TV 김종승 변리사입니다 22년 2월 EUV 펠리클 특허 동향 알려드립니다 0:00 인트로 01:44 에프에스티 에스앤에스텍의 기술 개발 방향 02:54 EUV 펠리클이 갖추어야 할 특징 05:31 에스앤에스텍의 2, 3세대 펠리클 관련 특허 10:05 에프에스티의 삼성전자 공동특허 13:00 결론