中, 美 제재에 입자가속기 활용 반도체 노광장비 공장 추진 / YTN 사이언스

미국의 반도체 수출 통제가 오히려 중국의 기술 자립을 가속화 하고 있다는 지적이 있는 가운데 중국이 첨단반도체용 노광 기술을 개발해 관련 공장을 추진하고 있다는 보도가 나왔습니다 홍콩 사우스차이나모닝포스트는 중국이 미국 주도 반도체 노광장비 수출 통제를 피할 방법을 찾는 과정에서 칭화대 연구진이 입자 가속기를 활용해 새로운 광원을 만들어내는 프로젝트를 진행해 성과를 거뒀다고 보도했습니다 신문은 중국이 이 해당 기술을 바탕으로 슝안신구에 거대한 반도체 노광장비 공장을 지으려 한다고 전했습니다 이 신문은 네덜란드 ASML의 극자외선(EUV) 노광장비는 수출을 위해 크기를 되도록 줄인 반면 중국은 여러 대의 노광장비가 둘레 100∼150ｍ의 거대한 입자가속기 한 대를 에워싸는 방식으로 대규모 공장을 지을 계획이라고 설명했습니다 극자외선 노광장비는 7㎚(나노미터=10억분의 1ｍ) 이하 초미세 반도체 공정 구현에 필수적인 장비로 세계에서 ASML만 독점 생산하고 있으며 네덜란드는 2019년부터 중국 수출을 금지했습니다 YTN 류제웅 (jwryoo@ytn co kr) #중국 #반도체수출통제 #중국반도체 #뉴스 #정보 [YTN 사이언스 기사원문] [프로그램 제작 문의] legbiz@ytn co kr